TOKYO KEISO东京计装流量控制器半导体研磨机控制器

详细内容

TOKYO KEISO东京计装流量控制器半导体研磨机控制器
参数规格

CLFC300系列是集超声波流量计检测器、控制阀、流量计算、阀门控制电路为一体的流量控制器。

搭载了可以极高速跟随目标流量的控制功能，用于控制半导体设备所需的各种液体，如化学液体的恒定供应、DIW流量控制、浆料流体的定值控制.  特征 改进的可控性 改进了传统的运算处理，提高了抗气泡性。

流量测量的稳定性也得到了提高。 改进的可控性 在阶跃响应性能方面，***的运算电路实现了极快的响应，实现了对设定值1.5秒以内的控制速度。 提供 2 种阀门类型 我们有用于化学液体和 DIW 的针阀，以及用于浆液的夹管阀。

STA-PURE Style Pcs (STA-PURE) 管已新添加到夹管类型中。

Stapure 管非常耐用，无需定期更换管。 小巧轻便 超声波流量计检测器、控制阀和电路部分都装在一个小机箱内，安装在设备内部时可节省空间。

结构经过重新设计，使传统产品更加紧凑。（下降20%）

重量也随着小型化而减轻。（下降 35%） 减少接线和管道 安装时只需连接进出液接头，用多芯电缆进行电气布线即可，无需复杂的配管和布线。 环保 减少电流消耗。（实际值减少 35%）

由符合 RoHS 标准的部件构成。 高耐腐蚀性 PFA 和 PTFE 是极耐腐蚀的材料，用于接液部件，可应用于处理半导体和化学品的各种行业。

PVDF 也用于表壳材料。 EMC 合规性 EN61326-1:2006 主要用途 设置化学品和去离子水的供应流量 通过将 CLFC300 安装在由计量泵和罐加压控制的各种化学液体和 DIW 供应管线中，可以高精度和稳定地控制液体供应量。 浓度控制 通过用纯水等稀释药液来控制恒定浓度时，在药液和纯水管路中安装 CLFC300 可以实现***的浓度控制和浓度管理。 浆液稳定供应 通过将CLFC300安装在CMP设备的各种浆料供应管线中，可以稳定地以恒定速率供应浆料，并且可以防止所用液体的浪费。 FC6000是采用高精度超声波流量计作为流量传感器的分体式流量控制系统。

流量控制器FCA6000系列内置超声波流量计转换器，通过组合流量传感器和控制阀可以构成紧凑的系统。  ·控制阀：FCV系列

 ·超声波流量计检测器：UCUF系列

 ·流量控制器：FCA6000系列 流量传感器和控制阀种类齐全，可实现广泛的流量控制。此外，通过将过程连接的流量传感器/控制阀与测量/控制部分分开，提高了安全性并且可以进行自由布局。

它是包括半导体工艺在内的各种化学品的***流量控制的理想选择。 特征 提高气泡阻力和流量测量稳定性 当液体中含有气泡时，超声波的接收灵敏度会降低，这使得普通超声波流量计的流量测量变得困难。FCA6000 系列通过使用经过验证的原始信号处理技术，即使在灵敏度降低的情况下也可以进行流量测量。并且根据丰富的现场经验，对异常输出进行判别和排除，大大提高了抗气泡性能。它还提高了流量测量的稳定性。 提高安全性，可以自由布局 将流量传感器/控制阀与过程连接的测量控制部分分开，提高了防止液体泄漏等的安全性，并且可以自由选择布局。 可进行大范围的流量控制 FCA6000 系列可以处理从*小 2.5-25 mL/min 到 1-10 L/min 的流速。 低功耗 与传统转换器相比，FCA6000 系列降低了功耗。 CE 标志 符合欧盟 EMC、RoHS2 和低电压指令

（EMC 合规标准：EN61326-1:2013、EN61326-2-3:2013） 高耐腐蚀性 UCUF系列的接液部分使用具有极高耐腐蚀性的PFA和PTFE，

可应用于处理半导体和化学品的各种行业。